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发表于 2006-9-28 22:32:22
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光驰公司(OPTORUN Co.,Ltd.)的泛用型成膜装置OTFC-1300
规格例
设备名称 OTFC-1300C/D
真空室 SUS304,φ1300mm×1610mm(H)
工件架 φ1150mm
工件架转速 5rpm to 50rpm(可変)
光学膜厚控制 Hom2-R-VIS350A型光学控制
波长范围:350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计 XTC/2+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 17cmRF离子源
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
性能
达到压力 9.0×10-5Pa以下
排气时间 30分(大气压~1.3×10-3Pa)
基板温度 最高:350℃
工作条件
设备尺寸 约6000mm(W)×7500mm(D)×3500mm(H)
电源 3相,200v,50/60Hz, 约95KVA
水流量 100升/分以上
空气压力 0.5MPa以上
重量 约6000kg
现在型号对了,呵呵。
[ 本帖最后由 战神后裔 于 2006-9-28 22:39 编辑 ] |
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